d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 1 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 m s 5 2 x x ( r o h s * ) s m d p r e s s u r e s e n s o r 1 a n d 1 2 b a r a b s o l u t e p r e s s u r e r a n g e u n c o m p e n s a t e d p i e z o r e s i s t i v e s i l i c o n m i c r o m a c h i n e d s e n s o r s u r f a c e m o u n t 7 . 6 x 7 . 6 m m l o w n o i s e , h i g h s e n s i t i v i t y , h i g h l i n e a r i t y r o h s - c o m p a t i b l e & p b - f r e e * d e s c r i p t i o n t h e m s 5 2 x x s m d p r e s s u r e s e n s o r s e r i e s i s d e s i g n e d f o r p r e s s u r e s e n s o r s y s t e m s w i t h h i g h e s t d e m a n d s o n r e s o l u t i o n a n d a c c u r a c y . t h e d e v i c e c o n s i s t s o f a s i l i c o n m i c r o m a c h i n e d p r e s s u r e s e n s o r d i e m o u n t e d o n a 7 . 6 x 7 . 6 m m c e r a m i c c a r r i e r p r o t e c t e d b y a m e t a l c a p . t h e m s 5 2 x x c a n b e d e l i v e r e d i n a h i g h l y s e n s i t i v e v e r s i o n g i v i n g a m a x i m a l o u t p u t v o l t a g e o r i n a h i g h l y l i n e a r v e r s i o n g i v i n g a l i n e a r o u t p u t v o l t a g e d i r e c t l y p r o p o r t i o n a l t o t h e a p p l i e d p r e s s u r e . h i g h s e n s i t i v i t y v e r s i o n h i g h l i n e a r i t y v e r s i o n s f u l l s c a l e p r e s s u r e p r o d u c t c o d e f u l l s c a l e s p a n / l i n e a r i t y p r o d u c t c o d e f u l l s c a l e s p a n / l i n e a r i t y 1 b a r m s 5 2 0 1 - a n 2 4 0 m v / 0 . 2 % f s m s 5 2 0 1 - b n 1 5 0 m v / 0 . 0 5 % f s 1 2 b a r m s 5 2 1 2 - b m 1 5 0 m v / 0 . 0 5 % f s f e a t u r e s l o w c o s t s m d c e r a m i c p a c k a g e - 4 0 c t o + 1 2 5 c o p e r a t i o n r a n g e h i g h r e l i a b i l i t y , l o w d r i f t o p t i o n a l : g e l p r o t e c t i o n a g a i n s t h u m i d i t y a n d w a t e r a p p l i c a t i o n s a b s o l u t e p r e s s u r e s e n s o r s y s t e m s e n g i n e c o n t r o l s h i g h r e s o l u t i o n a l t i m e t e r s , v a r i o m e t e r s d i v e r s c o m p u t e r s b a r o m e t e r s t i r e p r e s s u r e p i n c o n f i g u r a t i o n * t h e e u r o p e a n r o h s d i r e c t i v e 2 0 0 2 / 9 5 / e c ( r e s t r i c t i o n o f t h e u s e o f c e r t a i n h a z a r d o u s s u b s t a n c e s i n e l e c t r i c a l a n d e l e c t r o n i c e q u i p m e n t ) b a n s t h e u s e o f l e a d , m e r c u r y , c a d m i u m , h e x a v a l e n t c h r o m i u m a n d p o l y b r o m i n a t e d b i p h e n y l s ( p b b ) o r p o l y b r o m i n a t e d d i p h e n y l e t h e r s ( p b d e ) . 3 : v s + 1 : o u t - 4 : o u t + 2 : g n d
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 2 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 p i n d e s c r i p t i o n p i n n a m e p i n n o . f u n c t i o n o u t - 1 n e g a t i v e o u t p u t v o l t a g e o f w h e a t s t o n e b r i d g e g n d 2 g r o u n d v s + 3 s u p p l y v o l t a g e o f w h e a t s t o n e b r i d g e o u t + 4 p o s i t i v e o u t p u t v o l t a g e o f w h e a t s t o n e b r i d g e a b s o l u t e m a x i m u m r a t i n g s p a r a m e t e r s y m b o l c o n d i t i o n s m i n m a x u n i t s u p p l y v o l t a g e v s + t a = 2 5 o c 2 0 v s t o r a g e t e m p e r a t u r e t s - 4 0 + 1 2 5 o c o v e r p r e s s u r e m s 5 2 0 1 - a n m s 5 2 0 1 - b n m s 5 2 1 2 - b m p t a = 2 5 o c - - - 5 1 0 3 0 b a r
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 3 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 e l e c t r i c a l c h a r a c t e r i s t i c s h i g h s e n s i t i v i t y v e r s i o n ( v s + = 5 v ; t a = 2 5 c ) p a r a m e t e r m i n t y p m a x u n i t n o t e s o p e r a t i n g p r e s s u r e r a n g e 0 - 1 b a r f u l l - s c a l e s p a n ( f s ) 1 9 0 2 4 0 2 9 0 m v s e n s i t i v i t y 1 9 0 2 4 0 2 9 0 m v / b a r l i n e a r i t y - 0 . 1 5 0 . 4 % f s 1 , 6 o p e r a t i n g t e m p e r a t u r e r a n g e - 4 0 - 1 2 5 c z e r o p r e s s u r e o f f s e t - 4 0 0 4 0 m v p r e s s u r e h y s t e r e s i s - - 0 . 2 0 % f s 2 , 6 t e m p e r a t u r e h y s t e r e s i s - 0 . 3 0 . 8 % f s 3 , 6 r e p e a t a b i l i t y - - 0 . 2 0 % f s 4 , 6 b r i d g e r e s i s t a n c e 3 . 0 3 . 4 3 . 8 k w m s 5 2 0 1 - a n t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f r e s i s t a n c e t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f s p a n t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f o f f s e t + 2 4 0 0 - 1 5 0 0 - 8 0 2 9 0 0 - 1 9 0 0 - + 3 3 0 0 - 2 3 0 0 + 8 0 p p m / c p p m / c m v / c 5 , 6 5 , 6 5 , 6 n o t e s 1 ) d e v i a t i o n a t o n e h a l f f u l l - s c a l e p r e s s u r e f r o m t h e l e a s t s q u a r e s b e s t l i n e f i t o v e r p r e s s u r e r a n g e . 2 ) m a x i m u m d i f f e r e n c e o f o u t p u t v o l t a g e a f t e r 1 p r e s s u r e c y c l e a t a n y p r e s s u r e w i t h i n t h e o p e r a t i n g p r e s s u r e r a n g e . 3 ) m a x i m u m d i f f e r e n c e i n o f f s e t a f t e r o n e t h e r m a l c y c l e f r o m - 4 0 c t o + 1 2 5 c . 4 ) s a m e a s 2 ) a f t e r 1 0 p r e s s u r e c y c l e s . 5 ) s l o p e o f t h e e n d p o i n t s t r a i g h t l i n e f r o m 2 5 c t o 6 0 c . 6 ) n o t 1 0 0 % t e s t e d .
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 4 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 e l e c t r i c a l c h a r a c t e r i s t i c s ( c o n t . ) h i g h l i n e a r i t y v e r s i o n s ( v s + = 5 v ; t a = 2 5 c ) p a r a m e t e r m i n t y p m a x u n i t n o t e s o p e r a t i n g p r e s s u r e r a n g e 0 - 1 b a r f u l l - s c a l e s p a n ( f s ) 1 2 0 1 5 0 1 8 0 m v s e n s i t i v i t y 1 2 0 1 5 0 1 8 0 m v / b a r m s 5 2 0 1 - b n l i n e a r i t y - 0 . 0 5 0 . 2 % f s 1 , 6 o p e r a t i n g p r e s s u r e r a n g e 0 - 1 2 b a r f u l l - s c a l e s p a n ( f s ) 1 2 0 1 5 0 1 8 0 m v s e n s i t i v i t y 1 0 1 2 . 5 1 5 m v / b a r m s 5 2 1 2 - b m l i n e a r i t y - 0 . 0 5 0 . 2 % f s 1 , 6 o p e r a t i n g t e m p e r a t u r e r a n g e - 4 0 - 1 2 5 c z e r o p r e s s u r e o f f s e t - 4 0 0 4 0 m v p r e s s u r e h y s t e r e s i s - - 0 . 2 % f s 2 , 6 t e m p e r a t u r e h y s t e r e s i s - 0 . 3 0 . 8 % f s 3 , 6 r e p e a t a b i l i t y - - 0 . 2 % f s 4 , 6 , 7 b r i d g e r e s i s t a n c e 3 . 0 3 . 4 3 . 8 k w a l l r a n g e s t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f r e s i s t a n c e t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f s p a n t e m p e r a t u r e c o e f f i c i e n t o f o f f s e t + 2 4 0 0 - 1 5 0 0 - 8 0 2 9 0 0 - 1 9 0 0 - + 3 3 0 0 - 2 3 0 0 + 8 0 p p m / c p p m / c m v / c 5 , 6 5 , 6 5 , 6 n o t e s 1 ) d e v i a t i o n a t o n e h a l f f u l l - s c a l e p r e s s u r e f r o m t h e l e a s t s q u a r e s b e s t l i n e f i t o v e r p r e s s u r e r a n g e . 2 ) m a x i m u m d i f f e r e n c e o f o u t p u t v o l t a g e a f t e r 1 p r e s s u r e c y c l e a t a n y p r e s s u r e w i t h i n t h e o p e r a t i n g p r e s s u r e r a n g e . 3 ) m a x i m u m d i f f e r e n c e i n o f f s e t a f t e r o n e t h e r m a l c y c l e f r o m - 4 0 c t o + 1 2 0 c . 4 ) s a m e a s 2 ) a f t e r 1 0 p r e s s u r e c y c l e s . 5 ) s l o p e o f t h e e n d p o i n t s t r a i g h t l i n e f r o m 2 5 c t o 6 0 c . 6 ) n o t 1 0 0 % t e s t e d . 7 ) m s 5 2 1 2 - b m : m a x . 0 . 3 % f s .
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 5 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 a p p l i c a t i o n i n f o r m a t i o n g e n e r a l t h e m s 5 2 x x i s a m i n i a t u r i s e d a b s o l u t e p r e s s u r e s e n s o r s e r i e s t h a t h a s b e e n d e s i g n e d f o r s u r f a c e m o u n t i n g a p p l i c a t i o n s . i t s m a i n a d v a n t a g e s a r e t h e h i g h r e l i a b i l i t y o f t h e s e m i c o n d u c t o r s e n s o r a n d a d e s i g n w h i c h m a k e s i t s u i t a b l e f o r a p p l i c a t i o n s r e q u i r i n g s m a l l - s c a l e a n d c o s t - e f f i c i e n t s o l u t i o n s . t h e s e n s o r e l e m e n t o f t h e m s 5 2 x x c o n s i s t s o f a m i c r o m a c h i n e d s i l i c o n e m e m b r a n e w i t h p y r e x g l a s s w a f e r - b o n d e d u n d e r v a c u u m t o t h e b a c k s i d e f o r r e f e r e n c e p r e s s u r e . i m p l a n t e d r e s i s t o r s m a k e u s e o f t h e p i e z o - r e s i s t i v e e f f e c t t o s e n s e p r e s s u r e a p p l i e d t o t h e m e m b r a n e . t h e s e n s o r i s m o u n t e d i n a s p e c i a l p r o c e s s a l l o w i n g b e s t - o f f s e t s t a b i l i t y m a k i n g t h e p a r t s u i t a b l e f o r d i r e c t p c b a s s e m b l y . t y p i c a l a p p l i c a t i o n s f o r t h i s m i n i a t u r i s e d p r e s s u r e s e n s o r m s 5 2 x x a r e a l t i t u d e m e a s u r e m e n t s a n d t h e m e a s u r e m e n t o f a t m o s p h e r i c r e f e r e n c e p r e s s u r e i n m e d i c a l a n d i n d u s t r i a l e q u i p m e n t a s w e l l a s i n a u t o m o t i v e a n d h o u s e h o l d a p p l i c a t i o n s , c o n s u m e r e l e c t r o n i c s a n d p n e u m a t i c s . f u l l s c a l e p r e s s u r e h i g h s e n s i t i v i t y v e r s i o n ( m s 5 2 0 1 - a n ) h i g h l i n e a r i t y v e r s i o n s ( m s 5 2 0 1 - b n a n d m s 5 2 1 2 - b m ) 1 b a r v a r i o m e t e r , a l t i m e t e r , b a r o m e t e r h i g h e n d a l t i m e t e r , m e d i c a l i n s t r u m e n t a t i o n 1 2 b a r p n e u m a t i c b r a k e , d i v i n g c o m p u t e r l i g h t s e n s i t i v i t y t h e m s 5 2 x x i s s e n s i t i v e t o s u n l i g h t , e s p e c i a l l y t o i n f r a r e d l i g h t s o u r c e s . t h i s i s d u e t o t h e s t r o n g p h o t o e f f e c t o f s i l i c o n . a s t h e e f f e c t i s r e v e r s i b l e t h e r e w i l l b e n o d a m a g e , b u t t h e u s e r h a s t o t a k e c a r e t h a t i n t h e f i n a l p r o d u c t t h e s e n s o r c a n n o t b e e x p o s e d t o d i r e c t l i g h t d u r i n g o p e r a t i o n . t h i s c a n b e a c h i e v e d f o r i n s t a n c e b y p l a c i n g m e c h a n i c a l p a r t s w i t h h o l e s i n s u c h w a y t h a t l i g h t c a n n o t g o t r o u g h . c o n n e c t i o n t o p c b t h e p a c k a g e o u t l i n e o f t h e m o d u l e a l l o w s t h e u s e o f a f l e x i b l e p c b t o c o n n e c t i t . t h i s c a n b e i m p o r t a n t f o r a p p l i c a t i o n s i n w a t c h e s a n d o t h e r s p e c i a l d e v i c e s , a n d w i l l a l s o r e d u c e m e c h a n i c a l s t r e s s o n t h e d e v i c e . f o r a p p l i c a t i o n s s u b j e c t e d t o m e c h a n i c a l s h o c k , i t i s r e c o m m e n d e d t o e n h a n c e t h e m e c h a n i c a l r e l i a b i l i t y o f t h e s o l d e r j u n c t i o n s b y c o v e r i n g t h e r i m o r t h e c o r n e r s o f m s 5 2 x x c e r a m i c s u b s t r a t e w i t h g l u e o r g l o b t o p - l i k e m a t e r i a l . s o l d e r i n g p l e a s e r e f e r t o t h e a p p l i c a t i o n n o t e a n 8 0 8 f o r a l l s o l d e r i n g i s s u e s . c l e a n i n g t h e m s 5 2 x x h a s b e e n m a n u f a c t u r e d u n d e r c l e a n r o o m c o n d i t i o n s . e a c h d e v i c e h a s b e e n i n s p e c t e d f o r t h e h o m o g e n e i t y a n d t h e c l e a n n e s s o f t h e s i l i c o n e g e l . i t i s t h e r e f o r e r e c o m m e n d e d t o a s s e m b l e t h e s e n s o r u n d e r c l a s s 1 0 0 0 0 o r b e t t e r c o n d i t i o n s . s h o u l d t h i s n o t b e p o s s i b l e , i t i s r e c o m m e n d e d t o p r o t e c t t h e s e n s o r o p e n i n g d u r i n g a s s e m b l y f r o m e n t e r i n g p a r t i c l e s a n d d u s t . t o a v o i d c l e a n i n g o f t h e p c b , s o l d e r p a s t e o f t y p e n o - c l e a n s h a l l b e u s e d . c l e a n i n g m i g h t d a m a g e t h e s e n s o r .
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 6 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 p a c k a g e o u t l i n e s d e v i c e p a c k a g e o u t l i n e s o f m s 5 2 0 1 - a n a n d m s 5 2 0 1 - b n ( m e t a l c a p w i t h n i c k e l f i n i s h , g e l p r o t e c t i o n o f b o n d i n g w i r e s )
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 7 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 p a c k a g e o u t l i n e s ( c o n t . ) d e v i c e p a c k a g e o u t l i n e s o f m s 5 2 1 2 - b m ( s t a i n l e s s s t e e l c a p , n o g e l p r o t e c t i o n o f b o n d i n g w i r e s )
d a 5 2 x x y z _ 0 1 2 d e c e m b e r 1 9 , 2 0 0 5 8 0 0 0 0 5 2 x x 2 2 3 e c n 0 8 2 8 r e c o m m e n d e d p a d l a y o u t r e c o m m e n d e d p a d l a y o u t f o r s o l d e r i n g o f t h e m s 5 2 x x o n a p r i n t e d c i r c u i t b o a r d o r d e r i n g i n f o r m a t i o n p r o d u c t c o d e p r o d u c t a r t . - n r . p a c k a g e c o m m e n t m s 5 2 0 1 - a n p r e s s u r e s e n s o r 1 b a r h i g h s e n s i t i v i t y 3 2 5 2 0 1 0 0 2 m s 5 2 0 1 - b n p r e s s u r e s e n s o r 1 b a r h i g h l i n e a r i t y 3 2 5 2 0 1 0 0 0 s m d h y b r i d w i t h s o l d e r b u m p s , m e t a l c a p w i t h n i c k e l f i n i s h , d r o p o f g e l o n s e n s o r , n o g e l p r o t e c t i o n o f t h e b o n d i n g w i r e s m s 5 2 1 2 - b m t r a n s p a r e n t g e l 3 2 5 2 1 2 0 0 1 m s 5 2 1 2 - b m w h i t e g e l p r e s s u r e s e n s o r 1 2 b a r h i g h l i n e a r i t y 3 2 5 2 1 2 0 0 2 s m d h y b r i d w i t h s o l d e r b u m p s , s t a i n l e s s s t e e l c a p , g e l p r o t e c t i o n o f s e n s o r a n d b o n d i n g w i r e s s a m e s e n s o r f o r b o t h a r t i c l e s , o n l y t h e g e l p r o t e c t i o n c h a n g e s f a c t o r y c o n t a c t s i n t e r s e m a s e n s o r i c s a c h . c h a p o n s - d e s - p r s 1 1 c h - 2 0 2 2 b e v a i x s w i t z e r l a n d t e l . 0 3 2 8 4 7 9 5 5 0 t e l . i n t . + 4 1 3 2 8 4 7 9 5 5 0 t e l e f a x + 4 1 3 2 8 4 7 9 5 6 9 e - m a i l : h t t p : / / w w w . i n t e r s e m a . c h n o t i c e i n t e r s e m a r e s e r v e s t h e r i g h t t o m a k e c h a n g e s t o t h e p r o d u c t s c o n t a i n e d i n t h i s d a t a s h e e t i n o r d e r t o i m p r o v e t h e d e s i g n o r p e r f o r m a n c e a n d t o s u p p l y t h e b e s t p o s s i b l e p r o d u c t s . i n t e r s e m a a s s u m e s n o r e s p o n s i b i l i t y f o r t h e u s e o f a n y c i r c u i t s s h o w n i n t h i s d a t a s h e e t , c o n v e y s n o l i c e n s e u n d e r a n y p a t e n t o r o t h e r r i g h t s u n l e s s o t h e r w i s e s p e c i f i e d i n t h i s d a t a s h e e t , a n d m a k e s n o c l a i m t h a t t h e c i r c u i t s a r e f r e e f r o m p a t e n t i n f r i n g e m e n t . a p p l i c a t i o n s f o r a n y d e v i c e s s h o w n i n t h i s d a t a s h e e t a r e f o r i l l u s t r a t i o n o n l y a n d i n t e r s e m a m a k e s n o c l a i m o r w a r r a n t y t h a t s u c h a p p l i c a t i o n s w i l l b e s u i t a b l e f o r t h e u s e s p e c i f i e d w i t h o u t f u r t h e r t e s t i n g o r m o d i f i c a t i o n .
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